在全球半導體產業的埃米製程軍備賽中，台積電、英特爾和三星三大巨頭正展開激烈競爭。今年底前，這三家公司都將導入最先進的 High NA EUV 設備，開啟新一輪技術競賽。
High NA EUV 設備是生產更精細晶片的關鍵機台，也是推動製程技術的必要設備。一台 High NA EUV 設備要價約 4 億歐元，成為半導體產業競爭的重要因素。
英特爾搶先宣布取得多台 High NA EUV 設備並開始安裝，宣稱將成為業界最快導入相關機台的廠商。英特爾計劃在 Intel 14A 製程中使用 High NA EUV 設備，預計在 2027 年啟用。
台積電計劃在 2024 年擁有 High NA EUV 設備，但目前尚未計劃使用該設備進行量產，主要用於研究。台積電預計在 2026 年下半年量產 A16 製程，並將率先在台灣投產。
台積電資深副總暨副共同營運長張曉強表示：「台積電 2024 年會擁有 High NA EUV 設備，但還不準備運用新設備來生產，主要使用目的是跟夥伴進行研究。相信台積研發團隊會做出最好的決定，在何時何處選擇下一代 EUV 來應用。」
三星原計劃在明年取得 High NA EUV 設備，但目前加快了腳步，預計在今年底取得第一台設備，將用於華城廠區的半導體研究應用。南韓媒體披露，三星正加快導入 High NA EUV 設備腳步。
艾司摩爾計劃今年至少生產五到六台 High NA EUV 設備，英特爾可能取得大部分設備。台積電確保今年至少保有一台設備，SK 海力士計劃明年導入 EXE:5200 版本。
這場軍備賽展現了半導體產業的激烈競爭態勢。High NA EUV 設備的導入，代表著半導體產業向更先進的技術發展。三家公司在埃米製程中的不同策略和發展方向，展現了不同的競爭思路。這場競爭將決定未來幾年半導體產業的技術領導地位。
