在全球半導體產業的埃米製程軍備賽中,台積電、英特爾和三星三大巨頭正展開激烈競爭。今年底前,這三家公司都將導入最先進的 High NA EUV 設備,開啟新一輪技術競賽。
High NA EUV 設備是生產更精細晶片的關鍵機台,也是推動製程技術的必要設備。一台 High NA EUV 設備要價約 4 億歐元,成為半導體產業競爭的重要因素。
英特爾搶先宣布取得多台 High NA EUV 設備並開始安裝,宣稱將成為業界最快導入相關機台的廠商。英特爾計劃在 Intel 14A 製程中使用 High NA EUV 設備,預計在 2027 年啟用。
台積電計劃在 2024 年擁有 High NA EUV 設備,但目前尚未計劃使用該設備進行量產,主要用於研究。台積電預計在 2026 年下半年量產 A16 製程,並將率先在台灣投產。
台積電資深副總暨副共同營運長張曉強表示:「台積電 2024 年會擁有 High NA EUV 設備,但還不準備運用新設備來生產,主要使用目的是跟夥伴進行研究。相信台積研發團隊會做出最好的決定,在何時何處選擇下一代 EUV 來應用。」
三星原計劃在明年取得 High NA EUV 設備,但目前加快了腳步,預計在今年底取得第一台設備,將用於華城廠區的半導體研究應用。南韓媒體披露,三星正加快導入 High NA EUV 設備腳步。
艾司摩爾計劃今年至少生產五到六台 High NA EUV 設備,英特爾可能取得大部分設備。台積電確保今年至少保有一台設備,SK 海力士計劃明年導入 EXE:5200 版本。
這場軍備賽展現了半導體產業的激烈競爭態勢。High NA EUV 設備的導入,代表著半導體產業向更先進的技術發展。三家公司在埃米製程中的不同策略和發展方向,展現了不同的競爭思路。這場競爭將決定未來幾年半導體產業的技術領導地位。